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    毒害物質的侵蝕對旋片真空泵的影響

    半導體工藝涉及許多種有害和腐蝕物質,為了防止直接的或潛在的毒害,操作者必須避免有害氣體對旋片真空泵的污染。為了把旋片真空泵內的有害物質的累積減少到最低程度,建議在操作時用惰性氣體(N2)沖趕油腔面上的部位,油腔內也用N2沖趕,利用趕氣操作和適當地增大旋片泵的抽速,能夠防止揮發性蒸汽在泵內冷凝。

    為了避免毒害氣體從真空泵系統泄漏出去,要求系統的氣密性與使用自燃氣體時的一樣,即:
    ①決不允許空氣進入排氣管;
    ②必須使用可靠的密封裝置;
    ③油過濾系統與泵的連接接頭不要用簡單的快速接嘴。

    以上是針對旋片泵在工作狀況下的注意事項,另外,在更換油過濾芯和日常拆卸維修舊泵時,也要加強防范事故意識。在更換油和油過濾器時,如果操作不當,會引起不可忽視的危險。操作應在保護罩下進行或采用其它充分的防護手段。對于維護人員來說,必須穿上防護服裝。換油過濾器是很方便的,對操作人員沒有危險,但是油過濾器與泵要用合適的閥門連接,以便能把油過濾器拿到防護罩進行維修。如果換油則能用閥門連結到供油和出汕系統中,則前級泵的換油也能在現場完成,沒有任何危險。但是排出的廢油應用吸氣泵吸到一個封閉的系統內,或直接吸到一個預先抽空的容器內。

    在拆卸真空泵時,泵與系統的管道斷開之前,必須氣鎮足夠長的時間,用N2進行較長時間的沖趕,并關閉進氣閥,以免氣體進入真空機組。趕氣結束之后,才能進行換油、拆卸、清洗和修理,我們必須考慮到,泵內的許多揮發性物質在與濕氣(即環境空氣)接觸時,會放出有害氣體,在某些情況下,抽吸的物質難免要與泵體材料相接觸,結果會形成固體金屬磷化物或金屬砷化物。當泵體暴露在空氣中時,就可能釋放出PH3或AsH3,此時,更要注意防止中毒,及其它損害。所以這些工作需在有局排裝置的車間里進行,工作人員必須穿上防護工作服。

    隨著半導體制造設備的日趨先進,電腦技術日趨完善,最理想、最安全的方法是對機械泵的運轉和一此的進行自動監控。例如,在一些關鍵的應用中,必須對真空泵及附屬部件實施監控。如果用手動方法對各種機器的單項功能進行逐一的檢驗,依靠維修人員對機械泵的油面進行直觀檢查,在實際上是很困難的,且不能保證長期安全可靠。

    綜上所述,泵的安全操作對于設備的安全可靠運轉,以及產品質量都有重要意義我們應該嚴格遵守操作過程,注意安全,防患于未然。


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