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    真空泵漏氣的原因

    由于真空泵所用材料的缺陷,制造加工過程中造成的劃痕以及在裝配過程中有些部位密封程度較差而形成漏孔,造成真空泵漏氣

    。大氣會從這些漏孔進到真空泵,使真空泵在某一預定時間內達不到所要求的真空度而不能正常工作,甚至不能工作,不過,有

    些真空泵經過一段時間的抽氣之后仍達不到預期的真空度不一定都是漏孔造成,還可能是真空泵系統本身存在問題,如機械泵,

    油擴散泵不能正常抽氣,也可能是真空系統或被抽容器內存在放氣源。上述三種情況中出現任何一種時,真空的獲得和維持就十

    分困難了。為了弄清情況,一般用靜態升壓法進行判斷。

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