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真空冶金中所用的真空泵系統

真空冶金中最常用的真空泵系統主要分為以下幾種：

1、真空系統按照工作真空度的高低可分為低真空系統、高真空系統和超真空系統;

2、按其用途可分為排氣系統、充排氣系統、鍍膜系統、刻蝕系統、真空退火系統以及各種特殊科研用系統如空間模擬

裝置、熱核裝置、加速器等真空系統;

3、如按照結構材料則分為玻璃系統和金屬系統。

4、最能說明真空系統抽氣過程的是靜態系統與動態系統的概念。靜態系統是指真空系統中沒有氣體流動的系統，這時系統各處壓

強相等，都等于泵的極限壓強。而動態系統是指系統中有持續氣體流動的系統，這時由于有壓強差，各處壓強并不相同。實際的

真空系統，不可避免地總存在漏氣和放氣，從嚴格意義上講都屬于動態系統。

(1)低真空系統

這種系統的極限真空度不高，一般在10-1Pa以下，只用機械泵抽氣,包括水環真空泵、活塞真空泵、旋片真空泵、羅茨真空泵等

。

(2)高真空系統

極限真空度在10-3~10-5Pa之間，一般用機械泵串聯擴散泵進行抽氣。真空度的測量用熱偶計(或高壓強電離計)測中真空、用電

離計測高真空。

(3)超高真空系統

常見的電子管排氣用的超高真空系統，由濺射離子泵、鈦升華器、兩個吸附泵以及相應的閥門、真空規管等組成。這種系統在采

用200~250℃除氣時，可獲得10-7Pa的真空度:用450℃除氣時，可獲得10-8Pa的真空度。